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等离子废气处理设备中高能等离子介质阻挡放电过程中,电子从电场中获得能量,通过碰撞将能量转换为污染物分子的内能或动能,这些获得能量的分子被激发或发生电离形成活性基因,同时空气中的氧气和水分在高能电子的作用下也可产生大量的新生态氢、臭氧和羟基氧等活性基团,这些活性基团相互碰撞后引发系列物理、化学反应。从等离子活性基团组成可以看出,等离子体内部富含极高的化学活性粒子,如电子、离子、自由基和激发态分子等。废气中的污染物与这些具有较高能量的活性基团发生反应,转换为CO2和H2O等物质,达到净化废气的目的。